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      無掩膜/激光直寫光刻機

      簡要描述:v光源:375nm、385nm、405nm激光器v線寬:0

      基礎(chǔ)信息

      產(chǎn)品型號

      廠商性質(zhì)

      代理商

      更新時間

      2024-10-22

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      詳細(xì)介紹

      v 光源375 nm385 nm405 nm 激光器

      v 線寬:0.5μm0.6μm1.0μm1.5μm

      v 光刻效率:3000mm2/min@5μm

      v XY行程:55~205mm

      v 樣品尺寸:最小3mm*3mm   8 inch

      v 應(yīng)用領(lǐng)域:生物芯片、功率芯片光刻、掩膜版制造、3D衍射光學(xué)元件、芯片封裝、光通訊芯片光刻


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