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      熱拆鍵合機

      簡要描述:v該系統是用于分離晶圓與載體(熱拆鍵合)的FOWLP技術

      基礎信息

      產品型號

      廠商性質

      代理商

      更新時間

      2024-10-22

      瀏覽次數

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      詳細介紹

      v 該系統是用于分離晶圓與載體(熱拆鍵合)的FOWLP技術,通過釋放熱量將載體剝離

      v FOWLP優化熱拆鍵合技術

      v 全自動脫膠

      v FOWLP晶圓翹曲控制和監測

      v FOWLP晶圓正面標記

      v 全自動翹曲矯正模式

      v 晶圓尺寸:300/330 mm

      v 溫度控制:20~240℃ ±2℃

      v 裝載和卸載:手動/全自動

      v 翹曲處理能力:輸入翹曲:10 mm    矯正后的翹曲:<1 mm

      v 晶圓傳輸系統:三溫無接觸傳輸

      v ESD控制:帶有自動反饋傳感器的電離器


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